氣體質量流量計/控制器
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Alicat氣體質量流量控制器
產品特點：
- 滿量程從0.5(S)CCM到2000(S)LPM
- 響應時間100ms
- 量程比優于100：1
- 精度±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
- 可通過本地顯示、RS-232或模擬信號三種控制方式來控制流量
- 安裝位置不敏感
- 現場可選30種校驗氣體
Alicat氣體質量流量控制器、體積流量控制器性能指標
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指標
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質量流量控制器
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體積流量控制器
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描述
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標準量程
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0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM；
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，2000(S)LPM
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滿量程
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精度
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±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
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滿量程
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重復性
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±0.5%
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滿量程
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量程比
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100:1
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測量和控制
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響應時間
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100
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毫秒（可調）
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標準狀態(STP)
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25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
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無
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僅測量質量流量用
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溫度范圍
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-10～50
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℃
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零點漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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量程漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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濕度范圍
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0-100%
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無冷凝
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測量流量范圍
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102.4％
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滿量程
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最大耐壓
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150
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150*
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PSIG
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輸入/輸出（數字）
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質量流量、體積流量、絕壓和溫度
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體積流量
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RS-232串口
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輸入/輸出（模擬）
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質量流量
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體積流量
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0-5VDC
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可選輸入/輸出
第二路模擬
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質量流量、體積流量、絕壓或溫度
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體積流量
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0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
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電氣連接
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8針
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小型圓插頭
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供電電壓
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12-18VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）**
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供電電流
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0.250A
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安裝位置敏感度
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0%
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預熱時間
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＜1
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秒
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接液材質
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303&302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅，410不銹鋼
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*對于體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠家聯系。
**使用24V時需指定24V線圈.
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本地顯示：
ALICAT所有產品均提供本地顯示作為標準配置（無顯示產品可以用于OEM）。質量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（Main Mode Display）和所測的氣體(30種校驗氣體)，調節PID參數，將測量流量清零等。
數字輸出（RS-232）：
所有的ALICAT產品均具有標準的RS-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用ALICAT的RS-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟
件。任何帶有終端程序的設備，例如Windows®操作系統里的“超級終端”，均可以使用我們的ALICAT產品。RS-232可以實現本地顯示上的所有操作
功能，例如：清零、更換校驗氣體、改變PID等。
對于質量流量控制器，通過RS-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的?？刂乒δ芤才c每個型號的本地顯示控制模式一致（如右圖所
示）。體積流量控制器的控制功能 (Loop)只定位在“體積流量(Volume)”上。 所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。
模擬輸出：
模擬信號通訊同樣是由RS-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬信號是0-5VDC，可選0-10VDC或4-20mA的輸出信號。
ALICAT質量流量控制器提供0-5VDC輸出“質量流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。質量流量控制器通過“Select”（出現在本地控制設
定模式中，如上圖所示）來控制設定點方式?？蛇x第二路單獨模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。
ALICAT體積流量控制器提供0-5VDC輸出“體積流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。體積流量控制器通過“Select”（出現在本地控制設
定模式中，參考上圖）來控制設定點方式。