氣體質量流量計/控制器
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Line Tech氣體質量流量計
產品特點：
快速的響應時間
無泄漏
優秀的抗腐蝕性
極好的線性
較高的長期穩定性
寬泛的壓力范圍
模塊化設計
較高的性價比
技術指標：
流量范圍
10SCCM-125SLPM
響應時間
≤2sec
準確度
≤1%FS
重復精度
±0.25%
輸入/輸出信號
0-5VDC,4-20mA
供電電源
+15~28VDC,350mA
耐壓
<9MPa
工作環境溫度
0-50℃
泄漏率
1*10-9atm.cc/sec